NTS | Herdefiniëren van het begrip 'mogelijk': NTS en ASML's samenwerking aan de YieldStar MMSA

Blog

- 12 december 2023

Artikel delen:

In de wereld van geavanceerde technologie zijn intensieve partnerschappen de steunpilaren van innovatie. Ze vereisen voortdurende toewijding, flexibiliteit en een gedeelde visie. De afgelopen tien jaar hebben NTS en ASML dit bewezen met hun samenwerking met betrekking tot de YieldStar MMSA. Deze samenwerking heeft niet alleen standgehouden, maar ook opnieuw gedefinieerd wat er mogelijk is. De viering eerder dit jaar ter gelegenheid van de levering van de 1000e MMSA-module was een mooie aanleiding om met ASML en een aantal teamleden van NTS om de tafel te gaan zitten en terug te kijken op deze bijzondere reis.

Het YieldStar project

De wereld draait op semiconductors. En het YieldStar-systeem, ontwikkeld door ASML, is een geavanceerd meetinstrument dat wordt gebruikt bij de productie van semiconductors. De belangrijkste functie is het nauwkeurig meten van kritische afmetingen (CD) en oppervlakken, om de kwaliteit en prestaties van halfgeleiderapparaten te garanderen.

Wat de YieldStar speciaal en uitdagend maakt, is zijn vermogen om deze metingen uit te voeren op nanometerschaalniveau, in real-time en binnen de context van complexe driedimensionale halfgeleiderstructuren. Het maakt gebruik van geavanceerde optica, sensoren en scatterometrietechnieken om deze hoge precisie te bereiken. De YieldStar is cruciaal voor procesbesturing en helpt semiconductor fabrikanten de productkwaliteit te handhaven, defecten te verminderen en de opbrengst te verbeteren in de snel evoluerende semiconductor industrie, waar de vraag naar kleinere, krachtigere chips blijft groeien. De kern van deze technologie is de Main Module Sub Assembly of kortweg MMSA – een geavanceerd onderdeel van de Yieldstar dat NTS de afgelopen tien jaar voor ASML heeft geproduceerd.

De allereerste uitdaging

NTS heeft de afgelopen 10 jaar een belangrijke rol gespeeld bij elke wafer die door een Yieldstar systeem is gemeten. Maar toen NTS begon samen te werken met ASML aan dit project, wisten ze niet welke uitdagingen ze te wachten stonden. Een van de eerste uitdagingen was het begrijpen van de complexiteit van de YieldStar module. Toen Dick Jansen, teamleider cleanrooms bij NTS, de module voor het eerst zag, had hij zijn twijfels. “Het was een heel klein en geavanceerd systeem”, herinnert hij zich. “Toen ik ASML bezocht en het ontwerp zag, realiseerde ik me dat dit anders was dan alles waar we eerder aan hadden gewerkt. Op de terugweg kon ik alleen maar denken: ‘Hoe gaan we dit bij de NTS realiseren?

Maar, zoals Hubert Ketelaar, System Delivery manager bij ASML, ook opmerkt, was het de opmerkelijke ‘can-do’ mentaliteit van NTS die de samenwerking op gang bracht. “Ik waardeer de positieve instelling van NTS en hun vermogen om dingen te organiseren en te laten gebeuren”, zegt hij. “Ik vind het prettig dat ze niet bureaucratisch zijn. Ze zeggen ‘ja, het is moeilijk, maar laten we het samen oplossen’.

“Ik waardeer de positieve instelling van NTS en hun vermogen om dingen te organiseren en te laten gebeuren”

Hubert Ketelaar
System Delivery manager bij ASML

Mechatronic module with mechanical engineering at NTS

Twijfels overwinnen en succes creëren

Het systeem bestaat uit meer dan 4000 eenvoudige en complexe componenten, wat een uitdagende taak is voor elk team. ASML leverde de theoretische kennis, maar de praktische knowhow kwam van NTS. Het team begon vanaf de grond en richtte hiervoor een eigen productiefaciliteit in.

“Samen met Mark Meenhuis, een andere collega in het team, begonnen we met het opzetten van de cleanrooms, de assemblageruimte en al het andere dat nodig was om de MMSA te maken. Er kwam veel innovatief denkwerk bij kijken,” aldus Dick. Hij benadrukt dat het streven naar succes vastberaden was. “We wisten dat het team er alles aan zou doen om ASML een perfect product te leveren,” zegt hij. “We waren altijd volledig toegewijd aan het behalen van de vereiste resultaten. Dit was voor iedereen zo, zowel in de fabriek als op kantoor.” Na het eerste jaar werden er met succes zeven systemen geproduceerd en in het tweede jaar produceerden we in totaal 18 systemen.

Flexibel inspelen op toegenomen vraag

De reis met ASML nam een significante wending na de levering van de 500ste MMSA, toen de vraag vanuit de markt plots fors toenam waardoor een snelle uitbreiding van de capaciteiten vereist was. Dit betekende het creëren van extra cleanroomruimte en het werven van getalenteerde medewerkers. Omdat het team groeide tot meer dan 30 leden, werd de werkruimte uitgebreid van 350 vierkante meter tot een indrukwekkende 1600 vierkante meter. Dit alles resulteerde in een indrukwekkende ramp-up van 500 MMSA units in slechts drie jaar, wat de opmerkelijke flexibiliteit en reactiesnelheid van NTS in uitdagende tijden aantoont.

Een succesvolle samenwerking in actie

Een belangrijke reden voor het succes van dit project was de nauwe samenwerking tussen NTS en ASML. Er was vertrouwen in het proces en bij elke modificatie die nodig was, was het hele team in een vroeg stadium betrokken. NTS ging tot het uiterste om het succes van de klant te garanderen – verbeteren, aanpassen en waar nodig problemen op te lossen.

Als samenwerkingspartner was NTS niet alleen gefocust op het overwinnen van uitdagingen, maar ook op continue verbeteren en samen verder ontwikkelen. Patrick van Bezouw, Commercieel Manager bij NTS, geeft hiervan een voorbeeld: “Onze Development and Engineering (D&E) expertise was gericht op value engineering. We werkten aan bepaalde aanpassingen om het ontwerp te verbeteren en de kosten te verlagen, waardoor ASML een aanzienlijke kostenreductie kon realiseren.”

Perfectie leveren

Kwaliteit en tijdige levering vormen de kern van elke samenwerking met klanten bij NTS. Als eersterangsleverancier wisten ze dat er niet onderhandeld kon worden over het handhaven van hoge standaarden. In de woorden van de klant, Hubert van ASML: “Voor mij is een maatstaf voor het leveren van hoge kwaliteit en tijdige prestaties dat ik nooit een afspraak hoefde te maken met het kwaliteitsteam van NTS, omdat daar nooit een noodzaak voor was.” Zelfs tijdens de fase van supply chain uitdagingen in de afgelopen jaren, hield NTS stand. Bastian Kattenpoel Oude Heerink, Account Manager voor ASML bij NTS, merkt op: “Ik moet ook veel credits geven aan het inkoopteam voor hun opmerkelijke prestaties in zeer uitdagende tijden. We hebben nooit een productiestop meegemaakt.”

Een succesvolle reeks

Nu dit project voorzichtig ten einde loopt, blijft er een duidelijke waardering voor het product in de markt. NTS zal in de nabije toekomst verbonden blijven met dit systeem. Toch, als we terugkijken, herkennen we de waardevolle lessen die we hebben geleerd van tien jaar YieldStar MMSA onder de hoede van NTS. Bastian van de NTS zegt: “Als we de hele levensduur van het product beschouwen, heeft het onze vaardigheden naar een hoger niveau getild. Het verfijnde ook de supply chain management vaardigheden van NTS tot in perfectie.”

“Er waren veel ontwerpwijzigingen en technische aanpassingen in de afgelopen 10 jaar.”

Hubert Ketelaar
System Delivery manager bij ASML

Hubert Ketelaar bevestigt: “Er waren veel ontwerpwijzigingen en technische aanpassingen in de afgelopen 10 jaar. We zijn positief over NTS en onze gesprekken blijven open.”

Voor Dick, die er vanaf het begin bij betrokken is geweest, zijn er veel mooie momenten geweest. Grote uitdagingen, belangrijke mijlpalen en een sterke leercurve maakten allemaal deel uit van de reis. “Ik heb echt genoten van de samenwerking met het toegewijde en gemotiveerde team. We realiseren ons dat een vroege betrokkenheid en nauwe samenwerking met de klant beide partijen ten goede komt.” Met de toegenomen capaciteit en verbeterde mogelijkheden staat hij te popelen om deze kennis toe te passen om andere klanten in de semiconductor- en analytische markt te helpen.

Tien jaar om nooit te vergeten

De samenwerking van NTS en ASML aan de Yieldstar MMSA is een uitstekend voorbeeld van wat er bereikt kan worden door een combinatie van toewijding, innovatie en vertrouwen. Deze bijzondere reis heeft niet alleen de grenzen van de technologie verlegd, maar ook de samenwerkingsverbanden versterkt. Nu we een decennium van succes vieren, kijken we vol vertrouwen uit naar een veelbelovende toekomst vol mogelijkheden, waarin NTS en ASML doorgaan met het vormgeven van de semiconductor markt.